特性

■高速

音圈電機(jī)模組可以直接將電磁力轉(zhuǎn)換為直線運動，能產(chǎn)生高速運動。

■高精度

全閉環(huán)反饋控制直接驅(qū)動和線性編碼器消除運動損失和背隙，實現(xiàn)高精度。

■高響應(yīng)

通過與運動控制器的結(jié)合，實現(xiàn)了高響應(yīng)。

適用領(lǐng)域

計量、光子學(xué)、半導(dǎo)體、顯示器等制造中的精密掃描